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MEMSモジュール

■カンチレバー

● 機能概要    ・マイクロメカニクス    ・フィルムダンピング    ・マイクロフルイディクス    ・移動界面(レベルセット、フェーズフィー    ルド)    ・標準連成(流体ｰ構造、音響-構造、電気-    熱、熱-電気-構造、熱-構造)    ・ユーザ定義連成(静電場-構造　など)    ・ECAD(ODB++)インターフェース    ほか

解析対象例

■インクジェット液滴の飛翔（フェーズフィールド法）

■フィルムダンピング